第368章 光刻机故障（上）
了，必须重视起来。”
孟小刚沉吟一下，说道：“我和其他几名工程师，刚刚已经把负责移动和定位的伺服电机、感应器、传动部件，全部拆了出来，我们推测，问题很可能出现在这三个部件的身上。有您提供的那两台五轴数控加工机床，咱们的机械加工精度提上来了，但加工用的合金钢材质量相较岛国的产品，依旧有所欠缺。加工出来的零件当时使用没问题，但工作时间一长，磨损加剧，问题就暴露出来了。”
吴志航点了点头，认可了孟小刚的推测，“这样吧，你是晶圆厂的厂长，比我更清楚晶圆厂这里的现状，就由你带着李高官他们去参观，我去光刻机那边看看情况。如果咱们国产的合金钢真的不堪使用，只能采购一批进口货，先顶上了。”
说罢，吴志航向李高官和梁市长告罪一声，将导游的任务交给了孟小刚，他本人则脚步匆匆的往车间深处走了过去。
吴志航赶到损坏的光刻机旁边的时候，光刻机研发实验室的梁安平教授，已经带着几名研究员，赶了过来。他们带来了一套备用的伺服电机和传动零件，正在进行替换安装。见到吴志航赶来，梁安平将手上的工作交给副手，开口询问道：“听说省里来了个视察团，正在晶圆厂这边参观，你这个当大老板的，不陪着领导，怎么跑到这里来了？”
“李高官他们有小刚陪着就可以了，他才是晶圆厂的厂长，当这个向导更合适。我已经带着视察团在咱们公司转了大半天，说话说的嗓子都快冒烟了，正好休息一下。听说小刚说，三号光刻机也出了故障，和一号机的毛病完全一样，找到问题症结了吗？”
梁安平从一名工程师手里，拿过一枚拇指大小的伺服电机，给吴志航展示了一下，说道：“刚刚我用卡尺初步测量了一下，这枚伺服电机主轴，出现了将近半毫米的偏心。它一出毛病，和后面